PEMSIP法沉积的TiN涂层对硬质合金刀具切削性能的影响

摘要

氮气分压增加使等离子体增强磁控溅射离子镀（ＰＥＭＳＴＰ）ＴｉＮ涂层的相组成朝著富氮相及其含量增加的方向发展。由Ｔｉ２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的涂层硬度最高，可达ＨＫ２５００；由Ｔｉ２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的刀具涂层使硬质合金刀具切削力下降，可明显提高刀具使用寿命．