大功率底发射VCSEL出光窗口增透膜的研究

摘要

在大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)出光窗口镀制了HfO2增透膜,其透过率达到99.9%。对镀膜材料以及透过率方面进行了比较,介绍了增透膜的制作过程。镀膜后直径为600μm的底发射VCSEL获得了室温连续输出功率为1.63W,功率转换效率提高了6%。