硅衬底上BSCCO高温超导材料的制备

摘要

研究了采用单靶磁控溅射在Si（100）衬底上生长YSZ（钇稳定的ZrO2）和BSCCO（铋锶钙铜氧）薄膜的工艺条件，包括生长温度、生长气氛，生长速率及氧化退火等。还研究了高温超导相的形成与生长温度的关系，并获得了超导膜临界温度为82K的BSCCO／YSZ／Si兼容材料。