硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计

摘要

介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆、DETF结构参数对标度因数的影响,优化了结构设计。利用有限元分析软件ANSYS对陀螺仪的结构进行了仿真,并制作了原理样机。