精密大孔径测量装置

摘要

一、问题的提出在试制大型空气静压轴承付时,因仪器的承载能力和通用量仪的测量精度难以满足生产要求,所以用精度较高的电感测微仪配制简易工作台,组成精密大孔径测量装置,直接安放在一个重达90公斤的精密零件——气浮轴套(图1)上进行测量。精确测出φ250孔的实际直径,从而保证了孔和轴的配合间隙(单边0.014-0.018毫米)。测量极限误差稳定在±2微米之内,满足了设计要求。