微机械硅摆倾斜仪的时温漂补偿技术

摘要

为了提高特种车辆遂行任务系统的效能,基于微机械硅摆效应,研究设计了一种微机械硅摆倾斜仪。微机械硅摆感应倾角变化,经信号调理并放大,采用软件补偿倾角输出信号线性度。受环境温度、微机械结构等的影响,零位输出存在较大温漂和时漂。利用温度传感器采集实时温度,设计软件算法,进行温漂抑制。采集倾角信号,分段拟合时间和倾角信号的关系并进行数学处理,抑制零位时漂。实现时温漂补偿技术后,在不同温度环境中,启动倾斜仪,零位输出信号偏差≤10mV,且启动时间由20min缩短为10s。