平板式无阀压电流体泵的初步研究

摘要

介绍了一种新型平板式无阀压电泵 ,给出了此种无阀压电泵的基本结构。通过对所制样机的测试分析 ,认为决定这种无阀压电泵性能的因素主要有锥形角度、工作频率和驱动电压等。锥形角在 5°～ 12°之间 ,工作在19Hz下 ,所制作的压电泵具有较佳的工作性能 ,当锥形角为 11.3°,工作频率为 19Hz,驱动电压为 12 0 V时 ,泵的进、出水口处的压力差为 2 3 5 .2 Pa。