激光标刻系统几何失真的校正方法

摘要

激光标刻系统的复合几何畸变并非其固有缺陷,畸变产生的原因在于简化的、近似的系统控制策略。依据扫描振镜的扫描几何公式,采用最速下降法解算了扫描振镜偏转角度的数值解,实现了目标标刻坐标到扫描振镜偏转角度的精确映射。在扫描振镜偏转角度数值解的基础上,利用扫描振镜复合几何畸变的对称特性性,通过在第1象限建立适当规模的误差校正表并采用插值算法进行失真校正。仿真实验结果表明,该方法能够在4象限实现满足精度要求的失真校正。通过将目标标刻坐标转换为归一化坐标,使得该校正方法对于不同焦距的扫描振镜具有广泛的适用性。