光电子集成电路材料制作工艺的进展

摘要

光电子集成电路的未来进步主要取决于Ⅲ-Ⅴ族材料的合成技术,特别是汽相外延和分子束外延技术的持续进展,以及各种材料加工技术的发展。本文将对此作比较详尽的叙述。