时间分辨电子显微镜中聚焦系统的设计

摘要

本文讨论了时间分辨电子显微镜中电子束聚焦系统的设计．设计的聚焦系统为磁聚焦双聚光镜系统．采用有限元素法计算了聚焦系统的磁场分布，用Runge－Kutta法追迹了电子的运动轨迹，并给出了当样品面上照明光斑的尺寸为设计值时双聚光镜系统的工作参数．采用该双聚光镜系统可为样品提供1μm的照明光斑，满足了时间分辨电子显微镜实现10nm的空间分辨率、100ps的时间分辨率的要求．