倾斜溅射具有面内各向异性的TbFe巨磁致伸缩薄膜

摘要

由于TbFe薄膜在微机由系统（MEMS）中的广泛应用，如表面声波器件，微电机，微型泵及延迟线等，受到了人们极大的兴趣。由于TbFe膜有很大的磁各向异性，所以只有加很大的外磁场时，一般达几千奥斯特（Oe）才能有明显的移动，但是一般微型驱动装置只要求几个奥期特，因此限制了TbFe膜在微型设备中的使用。为了解决这一问题进行了很多研究，如在TbFe中添加B，这样外磁场在8kA／m下就出现108×10^-6（ppm）的移动。多层膜可减小磁品各向异性，提高软磁性能，从而改善了膜的低场磁各向异性。H．C．Jing等采用直流磁控倾斜溅射方法制取了TbFe薄膜。