一种估算热导率的方法

摘要

径向热导率是金刚石膜应用中的一项主要技术指标。本文介绍一种通过热导率和Ｘ衍射晶面图间相关性估算直流电弧等离子体喷气相沉积金刚石膜径向热导率的方法。该方法需满足的条件为（１１１）为主的三向系中（２２０）和（３１１）的ＣＰＳ值分别是２３～３３％和８～１５％，或者是在四取向膜中要求（４００）的ＣＰＳ值低于５％。瓮算值的最大偏差为－９．５％和３．５％。当（２２０）的ＣＰＳ值高时或（３１１）的ＣＰＳ值低时，