溶胶—凝胶工艺提拉法制备二氧化硅增透膜

摘要

采用溶胶-凝胶工艺用提拉法在石英基片上制备了具有优良的光学特性、高激光损伤阈值和均匀性良好的多孔二氧化硅单层增透膜和“有机硅-SiO2”双层增透膜系．考察了提拉速率对透射特性的影响，并比较了提拉法和液面下降法对所制备膜层的厚度的影响．透射光谱测量表明，在钕玻璃高功率激光的基频（1060um）、倍频和三倍频等重要激光波长处均得到较为理想的增透，透射率达到99％以上．