纳米科学测量与传感技术

摘要

本文首先介绍了纳米测量技术的现状，纳米测量系统的三个主要部分即纳米传感技术；扫描测量系统；信息处理及图象分析技术，最后就纳米测量技术的前景题提出了看法。