CVD法制备高纯钛过程中Ni的热力学分析

摘要

对卤化法制备高纯钛过程中Ni的行为进行了热力学分析：在实验条件下，杂质元素Ni能在卤化源区（800～1000K），与卤化剂反应，生成NiI2。在沉积区（1450～1650K），Ni可以通过裂解反应进入高纯钛产品中。