电子断层三维重构技术在材料微观结构分析中的应用

摘要

电子断层三维重构技术是在透射电镜基础上发展起来的,用以解析材料三维结构的一种技术。本文以美国FEI公司Tecnai G^2 F20透射电镜三维重构系统——Xplore 3D系统为例,探讨了样品制备与取向的选择、样品漂移问题的成因与校正、降低缺失锲存在造成的模型失真及空间分辨率的提高等问题,从以上四个方面详细介绍电子断层三维重构技术的要点及在材料微观结构方面的应用经验。