全氢罩式退火炉保护气体安全控制策略

摘要

奥地利ＥＢＮＥＲ公司和德国ＬＯＩ公司开发的二种全氢罩式炉，在氢气从进入到排出罩式炉的过程中，通过采用泄漏试验、氮气吹扫、压力监测等一系列安全控制策略，使得全氢罩式炉的生产安全性得到很好的保证。