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一种测量硬质薄膜残余应力的新方法

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提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法——剥层曲率半径法,并设计了一套光杠杆系统,可以精确测量镀膜样品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径,从而计算出薄膜的残余应力.通过对仪器测量误差的考察和电弧离子镀(Ti,Al)N薄膜残余应力的测定,证明了该方法的有效性.

著录项

来源
《金属学报》 |2008年第1期|125-128|共4页
作者
赵升升; 华伟刚; 杜昊; 宫骏; 孙超; 李家宝;
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作者单位

中国科学院金属研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TG115.222;
关键词
硬质薄膜; 残余应力; 测量方法; 剥层曲率半径法;

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