CIS薄膜太阳能电池Cu-In前驱膜结构相变研究

摘要

为考察CIS薄膜太阳能电池Cu-In前驱膜结构相变规律,采用电沉积法制备Cu-In前驱膜,并对前驱膜进行真空退火热处理。采用SEM和EDS观察并分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征薄膜组织结构。结果表明,Cu-In前驱膜以CuIn,CuIn2和Cu混合相存在;157℃真空退火10min,发生第一次相变生成Cu11In9相;310℃真空退火10min,发生第二次相变生成Cu7In3相。富Cu的Cu-In前驱膜结构相变受动力学边界条件所控制。