光栅光阀的应用、模拟技术和发展趋势

摘要

光栅光阀(GLV)是一种基于微机电系统技术的新型微型反射光栅,在静电力的作用下微梁弯曲,从而获得所需要的光强分布。讨论了GLV的原理,结合其特点给出GLV的典型应用;比较了两种常用的计算机模拟方法,最后讨论了GLV的发展新趋势。