扩散和清洗的发展方向——国产半导体设备探讨

摘要

近年来，我国集成电路产业发展速度举世瞩目，并呈现稳定增长势头。据一家美国集成电路行业调查公司IC Insights发布的调查报告显示：中国将在今年成为最大的集成电路市场。今年市场总额为343亿美元，到2010年中国集成电路市场总额将达950亿美元。