用QCM分析ZnO纳米线在湿度检测中的响应

摘要

研究石英晶体微天平传感器上涂敷纳米ZnO膜,实现对湿度检测。实际测试结果涂敷纳米ZnO膜的石英晶体传感器在一定湿度范围的输出频率随测试的相对湿度变化。研究结果表明在湿度检测中,相对湿度越高,响应时间越长;涂敷膜越厚,频率变化越大,在相同的湿度下(高湿度)响应时间越长。