超光滑表面清洗技术的研究现状

摘要

随着超光滑表面元件在半导体加工行业、航空航天和国防军工领域的广泛应用,超光滑表面的清洗技术的质量与效果显得格外重要。本文介绍了超光滑表面表面的定义,阐述了四种超光滑表面清洗方法,并对其清洗特点、应用和今后发展进行了说明。通过超光滑表清洗技术现状的研究,为实际生产当中超光滑表面元件选择合适清洗方法提供了一定的参考,具有重要意义。