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王昭; 孔兵; 谭玉山;
西安交通大学激光与红外技术应用研究所;
共焦成像; 微光器件; 光路分割; 共焦系统;
机译:共焦显微镜在Al_2O_3中的共焦光刺激显微光谱法(CPSM)-残余应力测量
机译:共焦激光显微光谱拉比翻转研究用于里德堡物质产生的氧化铁发射体表面
机译:用于超精密加工的3轴控制快速刀具伺服系统的开发(第3次报告):通过高速刀具控制对微光学器件模具进行高速加工
机译:使用各种VCSEL比较偏振控制共焦光学器件中的共焦信号
机译:基于聚合物的纳米和微光子器件,用于三维光学互连。
机译:用于多光谱GRIN应用的长寿命单片微光学器件
机译:用于自由空间全光学OXC系统的微光学器件(点位移器件)的设计和仿真
机译:用于mEms应用的集成衍射微光学器件的制作
机译:用于EUV波长范围的反射光学元件,器件的制作和校正方法,用于微光刻投影透镜以及用于具有该元件的投影透镜的微光刻投影曝光设备
机译:具有共焦光学系统的扫描仪,用于生成由共焦光学系统提供的扫描仪的共焦光学系统的焦点位置数据的方法以及用于在由共焦光学系统提供的扫描仪中生成数字数据的方法
机译:用于极紫外微光刻的照明系统,具有照明光学器件,用于将辐射源的照明光引导到物平面内的物场中
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