大圆片批生产中的在线检测工艺及设备

摘要

立足ＩＣ生产线管理工程的角度，系统地分析和讨论了由加工设备产生的粒子对器件成品率的影响情况及采用先进的检测手段，控制污染粒子，提高成品率的有效途径。