薄膜材料与器件

摘要

O484.1 2001021185SnO2:Zr薄膜对SO2气体的光学气敏特性研究=Opticalsensitive characteristic of SnO2:Zr thin filmto SO2[刊,中]/汤兆胜,赵强,冯仕猛,范正修（中科院上海光机所薄膜中心.上海（201800））//光子学报.—2000,29（3）.-277-281 采用双靶反应溅射制得SnO2:Zr薄膜,并对它作了150℃下SO2气敏光学特性试验,首次发现在适当工艺条件下制得的SnO:Zr薄膜在近红外波段（1.7 μm～3μm）对SO2气体具有明显的光学气敏特性,在2.65μm附近透过率上升幅度达10%左右。Zr的引入增强了SnO2薄膜对SO2的吸附能力。用二次离子质谱对吸附SO2前后的薄膜作了组分相对含量分析。图7表2参12（李士范）