其它

摘要

O484 96031852利用长期稳定的Ga2O3薄膜在高温下传感还原气体=Sensing reducing gas by secular stableGa2O3 thin films under high temperature[刊,中]/彭士元（电子工业部第49所.黑龙江,哈尔滨（150001））//仪器仪表与分析监测.-1995,（2）.-18-20,21多晶半导体Ga2O3薄膜代表着一种有前途的新型传感器基础材料,工作温度高于650℃,常用于探测还原气体。传感器的信号是由Ga2O3薄膜电导率的变化来提供。报道了在惰性气体中存在两种组分的还原气体混合物时的基本研究情况。针对H2和CO来说,