非光学量测试与设备

摘要

TB92 2000021361基于测量平台的一种新型光电式平面度测量仪=Planeness measurement system of solar panelsubstrate[刊,中]/祝世平,房建成,周锐,俞文伯,申功勋(北京航空航天大学.北京(100083))//测控技术.-1999,(10).-9-11针对某种具有特殊表面平面的大型工件平面度测量问题进行了研究,由于现有的接触式测量方法存在着精度差,效率低等问题,开发了一基于测量平台的新型光电式平面度测量仪,给出了相应的实验结果。