光学薄膜参数测试

摘要

O484.5 2001021199遗传算法在椭圆偏振测量中的应用=Application ofgenetic algorithm to ellipsometry[刊,中]/彭子龙,李佐宜,胡煜,谭立国,杨晓非(华中理工大学电子科学与技术系.湖北,武汉(430074))//光学技术.—2000,26(3).-277-280详细介绍了椭圆偏振法测量的基本原理和椭偏函数方程的建立,将遗传算法引入到椭偏法测试薄膜的折射率和厚度的计算中,重点分析了各遗传算子的设计。图5表1参6(李瑞琴)