3ω法表征热导率研究进展

摘要

3ω法作为一种表征固体薄膜、液体、气体等材料热导率的通用性技术,由于其测量成本低、采集速度快和样品制备工艺相对简单等独特的优势,在功率器件、绿色能源、生物医学等领域具有良好的应用前景。综述了近年来3ω法表征热导率的研究进展。首先介绍了3ω法表征热导率的基本原理;然后归纳总结了3ω法在不同微纳材料尺度下表征热导率的进展和成果,分类说明了3ω法在生物医学领域和第三代宽禁带功率半导体材料领域的最新应用;最后对3ω法表征热导率的研究成果进行总结,指出了目前存在的问题,并进一步展望了未来的发展方向。