低温共烧陶瓷用玻璃材料研究进展

摘要

低温共烧陶瓷(LTCC)的玻璃材料对基板性能有重要影响。本文介绍了LTCC用玻璃材料的体系分类与性能特点,梳理了组分、工艺等对材料性能的影响规律,对现有较成熟体系进行了重点分析。CaO-B_(2)O_(3)-SiO_(2)微晶玻璃体系基板含大量晶相,介电性能优异,但烧结析晶行为敏感,组分和工艺波动对性能影响较大。PbO-B_(2)O_(3)-SiO_(2)玻璃/陶瓷复合体系结构致密,玻璃不易析晶,性能稳定,力学性能优异,但大量含铅玻璃相限制了其在高频领域的应用。La_(2)O_(3)-B_(2)O_(3)玻璃/陶瓷复合体系使用结晶型玻璃与陶瓷填料复合,结合了二者优点,兼顾了性能与稳定。LTCC材料的烧结机理与性能调节规律仍需深入研究,以支撑拓展已有体系,开发新体系。