Ag-Pd合金表面的择优溅射

摘要

用XPS方法研究了Ag-Pd合金在氩离子轰击下表面组成的变化。结果表明,由于Ag-Pd表面原子间结合能不同,合金在热退火后表面富Ag,经氩离子轰击后表面富Pd。将合金表面的Ag-Pd溅射产额比与相应的文献结果作了比较。在本文的实验条件下,合金组分间的相对溅射产额随合金成分变化,与氩离子轰击合金形成表面无序层有关。含Pd量为0.32at.-％的稀Pd合金的溅射结果表明,其组分的溅射产额比与含Pd量较多时的结果有明显差别。