一种新的液相测试探针——InGaSn合金探针

摘要

＜正＞ 在许多半导体硅材料的物理参数测试,特别是硅的界面特性测试中,常需要在样品上蒸铝（或蒸其它金属）形成肖特基结或MOS结构.由于测试样品必须作蒸铝及光刻工艺,因而给测试工作带来很多麻烦,特别是作为半导体器件生产中的工艺监督更感到非常不便.所以曾有好多人提出采用其它的测试探针,以替代样品上的铝电极.Bandawi等