激光全息照相在制版工艺上的应用

摘要

＜正＞ 用激光全息照相的方法,一次形成一个掩模的多重象以代替集成电路制版工艺中的重复步进照相的过程,这样可以保证不同掩模的相对精确套准,能够省略复杂的重复步进的电控和精密机械装置,而且还可以缩短生产周期,降低劳动强度。 为了发展我国的电子工业,我们在党组织的正确领导下,把教学、生产、科研结合起来,对用激光全息照相来制造掩模版的工作进行了试验。经过一年多来的工作,在学习无产阶级专政理论和反击右倾翻案风的推动下,在兄弟单位的支持下,取得了初步成果,并对一些10微米以上线条的版进行了初步的试验制作。 用全息图产生多重象,基本上有两种光路,一种是由光点阵的严格的富里叶变换全息图利用通常的空间滤波器装置形成多重象;另一种是由光点阵的无透镜富里叶变换全息图得到多重象。后者光路简单,对镜头要求低,成象质量高,所以我们采用了后者,它的光路如图1所示。