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影响微细铝条等离子刻蚀的物理化学因素

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本文全面地研究了微细铝条等离子刻蚀的有关问题.从实验上给出了刻蚀的各向异性、均匀性以及刻蚀速率等基本参数与设备、工艺和物理因素的关系.成功地刻出了线度为1.5～2μm、厚度1.5μm的微细铝条.

著录项

来源
《半导体技术》 |1987年第5期|14-179|共4页
作者
李思渊; 张旗; 王毓珍; 宣建功;
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作者单位

兰州大学物理系;

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