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一种克服SiCl4提纯中试剂杂质沾污的有效方法

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＜正＞固体吸附法是提纯SiCl4的一种极为有效的方法.它是根据化合物化学键的极性不同,通过化学吸附,实现SiCl4同杂质分离的.采用这种方法,能够去除绝大部分的杂质氯化物,特别是去除FeCl3、CuCl2、AlCl3、BCl3、PCl3等极性杂质的效果很显著.不足之处,是

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来源
《半导体技术》 |1984年第6期|23-24|共2页
作者
陆云山; 赵培荣; 吴键; 徐昌华; 陈辉;
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作者单位

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正文语种 chi
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