蒸铝工艺在铝-硅欧姆接触形成中的作用及其应用

摘要

本文首先通过Al-Si合金化过程的讨论,揭示了工艺中影响良好欧姆结形成的主要原因是接触窗口中自然氧化膜的存在,进而分析蒸铝工艺对该膜所潜在的减薄作用的机理,最后提出通过蒸铝工艺的控制来实现欧姆结的良好接触和防止尖角（Spear）出现的工艺方法.