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玻璃熔凝热成型过程对MGS界面态的影响

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本文利用DLTS仪研究了MGS界面态与玻璃膜熔凝热成型的关系,其结果表明玻璃—硅界面特性严重地依赖干玻璃的熔凝热成型条件.通过适当选择熔凝热成型条件,可以获得具有低界面总密度的熔凝玻璃膜.

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来源
《半导体技术》 |1988年第1期|39-41|共3页
作者
秦祖新; 张安康;
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作者单位

华中工学院;

南京工学院;

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正文语种 chi
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