VLSI用硅圆片的要求与标准化

摘要

＜正＞硅片的标准化工作开始较早.早在1973年,美国半导体工业方面的一些组织和公司,就已致力于建立硅片的工业标准,1977年美国材料试验协会也颁布了“硅单晶抛光片的标准规范”.并在1980年和1981年进行了两次修订,最后一次修订稿直到1984年仍未变动.总之,硅圆片早已形成了世界范围的工业标准.不过,这些标准巨离VLSI（特别是ULSI）的要求尚很远.