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小电流晶闸管台面钝化工艺的改进

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本文简述了小电流晶闸管台面钝化工艺的改进和实验结果.

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来源
《半导体技术》 |1987年第2期|51-52|共2页
作者
王中寰; 张银生;
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作者单位

湘潭大学物理系;

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