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ICB 淀积 Sb,Pb 的薄膜结构

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摘要

本文用离化原子团束工艺淀积 Sb 和 Pb 薄膜,系统研究了各淀积参数对薄膜晶粒取向度等结构特性的影响,并测定了 Pb 原子团束的原子团大小和离化率,讨论了薄膜结构的形成机理.

著录项

来源
《材料研究学报》 |1989年第5期|419-424|共6页
作者
和志刚; 冯嘉猷; 汤海鹏; 范玉殿; 李恒德;
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作者单位

清华大学;

清华大学材料科学与工程系材料科学教研室;

清华大学;

清华大学;

清华大学 100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
离化原子团束工艺; 薄膜; 薄膜结构;

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