氮光谱检漏仪

摘要

本文提出了一种新型的真空检漏仪器——氮光谱检漏仪的实验结果。它利用检测潘宁放电光谱作为一种快速诊断真空系统质量及检漏的手段。在10-4托压强下,实验测量并比较了各种气体的放电光谱。在可见光区域,氮存在三条强的光谱线。计算表明它们分别是氮离子中的电子从上能级V＇=0到下能级V″=0,1,2的跃迁光谱线。选择4278埃的氮光谱线作工作光谱线,测得了各种条件下油扩散泵系统中氮光电流及总光电流的比值。在现有条件下以氧作为检漏探索气体时,该检漏仪最小可检漏率≤2.8×10-7托·升/秒,响应时间为4秒。