应用于晶体生长直径控制的弹簧电子秤的机械设计及其稳定性的研究

摘要

用弹簧作为重量信号的受感元件,可实现无刀口的重量——位移信号的转换。文中给出了园筒型弹簧和平板型座簧的机械设计计算及其实验结果。为提高下称重法用的座簧的稳定度设计了张丝和阻尼盒,定量的讨论了这些措施对提高稳定度的作用。最后给出了为晶体生长直径控制设计的总负荷3kg,灵敏度5μv/10mg弹簧电子秤的机械稳定性实验结果。