半导体管壳半自动检漏台

摘要

＜正＞ 半导体器件寿命的长短,电参数是否稳定可靠,器件密封好坏是关键因素之一。装管芯之前,把有微小漏的管壳剔除,可以避免管芯的浪费。为此,我们制作了一台和氦质谱检漏仪联用的半导体管壳半自动检漏台,经过一年多的实际应用证明,它适用于半导体管壳或器件的批量检漏筛选。一、半自动检漏台的结构及工作原理 1.真空系统如图1所示。各电磁阀之间用铜法兰盘和φ12毫米的铜管连接。四个真空电磁阀门组成自动循环系统,两个检漏头①和②（图2）交替进行工作。在检漏头①和②上都装好待检的管壳,接通电源,阀门2、3、4关闭,阀门1开,机械泵对检漏头①抽气。当抽到规定的真空度后,推动一下台面上的板键开关,阀门1关闭,