MBE装置中分子束流的裸规控制法

摘要

采用没置在MBE装置中的裸规对砷坩埚加热过程进行控制,比通常采用的坩埚恒温控制法的好处是:整个过程中分子束流密度的摆动大大减少,起伏时间缩短到1/2.2～1/3.6,相应的砷浪费最亦减少到1/10～1/45。当有铝或镓分子束同时蒸发的场合,一般会因此使砷分子束流减少,但使用本控制法能自动升温补偿该项损耗而维持分子束流的恒定。对于常规的MBE装置产品,要实施本控制法时,一般无需添加任何仪器和设备,仅将电接线略加改动就能实现。