氦载气脉冲加热色谱法测定硅中微量氧

摘要

本文应用高速分析形成因素,对试样制备,降低空白值,熔池选择,提高仪器灵敏度等实验条件进行探讨,拟订了氦载气脉冲加热色谱法测定硅中微量氧。方法操作简便,灵敏度高,具有较高精密度。分析时间在5分钟以内,可应用于日常分析。