基于多光谱图像融合的光学表面疵病检测

摘要

为了实现对精密光学元件表面疵病的高精度测量，提出了一种基于多光谱图像融合的光学元件表面疵病检测方法。通过使用不同波长的光源入射到光学表面，在显微暗场成像系统中获得了450、532、650 nm单波长光源照明时光学表面疵病的检测结果，并将采集到的图片通过加权平均法、拉普拉斯金字塔变换法和小波变换法3种方法进行图像融合后，再进行图像处理获取疵病尺寸信息。由实验结果对比可知，相较于单波长原始图像的疵病检测结果，多光谱融合图像的检测结果更加精确，并且通过对比3种融合方法结果，其中以拉普拉斯金字塔变换融合的效果最佳。