基于标准漏孔比对法的漏率测量装置

摘要

针对真空密封件的密封性能评估，采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法，具体包括动态比对法和静态累积比对法，通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流，利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推，计算密封件的漏率。研制了一套密封件的漏率测量装置，装置极限真空可达10-7Pa量级，漏率测量范围为：10-7-10-14Pa·m~3/s，可用于具有检漏接口的各类密封件的漏率测试。采用该装置的两种方法分别进行不锈钢刀口密封件的漏率测试。结果表明：动态比对法对该不锈钢刀口密封件的漏率测试误差较大，低于10-11Pa·m~3/s量级的极低漏率密封件更适合采用静态累积比对法进行测试。