基于重构法的三维显微镜横向示值误差校准标准器的研制

摘要

白光干涉仪、共聚焦显微镜、三维扫描测量仪等基于重构法的三维显微镜在半导体电路、精密机械零部件、航天航空等领域都有着重要的应用，其横向位移测量精度是重要的计量参数，因而开展三维显微镜横向示值误差准确测量尤为重要。针对目前该类仪器校准标准器尺寸不完善、结构不适用的问题，文章研制了一套多参数的二维栅格样板标准器，可实现不同倍率三维显微镜横向示值误差的准确测量。实验证明，该标准器适用性广、准确度高，可有效解决三维显微镜横向示值误差校准标准器缺失和量传体系不完善的问题，具有较好的应用前景。