电子光学在微电子技术中的应用

摘要

＜正＞ 一、引言 自从人们以电子作为光源,并利用电磁透镜使之会聚成像之后,近年来兴起了一门新的科学——电子光学。于是电子显微镜以崭新的面貌出现,为人类向微观世界和高技术领域的进展提供了强有力的武器。各种电镜（透射电镜、扫描电镜、俄歇电镜、扫描隧道电镜）,电子探针,各种表面分析仪以及电子束曝光机,电子束退火装置等的研究,制造和开发利用非常活跃,业已深入到微电子技术的各个领域,对微电子技术的发展起着巨大的作用。